Process module metrology, control and clustering - 11-13 September 1991, San Jose, California
- Författare
- (Cecil J. Davis, Irving P. Herman, Terry R. Turner, chairs/editors.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1992 | USA | 419 sidor. |